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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73559
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134 Dielectric Etcher(CCP)에서 사용하는 주파수 [Plasma frequency 및 RF sheath] [2] 850
133 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [방전 기전] [1] 843
132 ICP에서의 Self bias 효과 [DC offset voltage와 floating potential] [1] 842
131 PECVD 고온 공정에서 증착 막으로의 열전달 관련 문의 드립니다. [플라즈마 분포와 확산] [1] 833
130 수중속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다. [방전 특성과 절연 파괴] [2] file 830
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128 간단한 질문 몇개드립니다. [공정 drift와 database] [1] 814
127 플라즈마 기본 사양 문의 [형광등 동작 원리] [1] 808
126 ESC 사용 공정에서 Dummy Wafer Chuck Force 에 대해서 궁급합니다 [1] 806
125 핵융합 질문 [NFRI 국가핵융합 연구소] [1] 806
124 활성이온 측정 방법 [한국 기계 연구소 송영훈 박사팀] [1] 803
123 전자기장 및 유체 시뮬레이션 관련 [핵융합 연구소] [1] 799
122 Frequency에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [전자와 이온의 열운동 특성과 반응 거리] [1] 797
121 조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [열플라즈마와 "플라즈마 금속학"] [1] 796
120 수중방전에 대해 질문있습니다. [플라즈마 생성 및 방전] [1] 788
119 플라즈마 세정처리한 PCB, Lead Frame 재활용 방법 [Cleaning 후 재활용] [1] 786
118 AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 781
117 CCP Chamber 사용 중 Impedance 변화 원인 문의드립니다. [Chamber impedance 변화] [1] 771
116 Microwave & RF Plasma [플라즈마 주파수와 rate constant] [1] 771
115 챔버의 Plasma density 확인방법 문의드립니다. [플라즈마 모니터링, OES, LP] [1] 770
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