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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
| 20230 |
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개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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광플라즈마(Photoplasma)라는 것이 있는가요?
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플라즈마 물리학책을 읽고 싶습니다.
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N2 플라즈마 공정 시간에 따른 Etching rate의 변화 이유가 알고 싶어요
[2] | 23764 |
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Arcing
| 23826 |
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플라즈마 쉬스
| 23941 |
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plasma and sheath, 플라즈마 크기
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self Bias voltage
| 24051 |
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플라즈마에 관해 질문 있습니다!!
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Dechucking 시 wafer 상의 전하 문제
| 24176 |
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[질문] ICP plasma 를 이용하여 증착에 사용하고 있는데요.
[3] | 24323 |
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ICP dry etch 장비에서 skin depth가 클수록 좋다고 볼 수 있는 건가요?
[1] | 24346 |
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플라즈마가 불안정한대요..
| 24518 |
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반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다.
| 24592 |
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H2/O2 플라즈마에 대해서 질문드립니다. 꼭 답변점...
[1] | 24654 |
57 |
plasma와 arc의 차이는?
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ICP Source에서 RF Source Power에 따른 위상차와 임피던스 변화 문의
[1] | 24752 |
55 |
RF 플라즈마 챔버 내부에서 모션 구동
[1] | 24774 |
54 |
Reflrectance power가 너무 큽니다.
[1] | 24866 |
53 |
스퍼터링에서 DC bias의 감소 원인이 궁금합니다..
| 24882 |
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PECVD 매칭시 Reflect Power 증가
[2] | 24987 |