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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73479
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113 VPS 공정에서 압력변수관련 질문입니다. [VPS] [1] 750
112 챔버의 Plasma density 확인방법 문의드립니다. [플라즈마 모니터링, OES, LP] [1] 748
111 Bias인가 Cable 위치 관련 문의 [플라즈마 분포 관찰] [1] 745
110 Plasma에 의한 분해 및 치환 반응(질문) [Powder] [1] 742
109 Microwave & RF Plasma [플라즈마 주파수와 rate constant] [1] 733
108 KM 모델의 해석에 관한 질문 [Self bias와 ambipolar diffusion] [1] 732
107 magnetic substrate와 플라즈마 거동 [대면 재료의 전기적 특성와 플라즈마 쉬스의 변화] [3] 727
106 메틸기의 플라즈마 에칭반응 메커니즘 [공정 플라즈마] [1] 723
105 Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. 723
104 Interlock 화면.mag overtemp의 의미 721
103 코로나 방전 처리 장비 문의드립니다. [광운대 최은하 교수님] [1] 721
102 스퍼터링 Dep. 두께 감소 관련 문의사항 [플라즈마 이온주입 연구실] [1] 715
101 ICP Plasma etch chamber 구조가 궁금합니다. [플라즈마 생성 공간과 플라즈마 확산] [1] 702
100 (PAP)plasma absorption prove 관련 질문 [PAP 진단법] [1] 697
99 크룩수의 음극선도 플라즈마의 현상인가요? [플라즈마 생성 조건 및 성질] [1] 697
98 ICP 방식에서 RF Foward Power를 상향하면 ER이 빨라지는 이유 [플라즈마 생성 반응] [1] 692
97 ICP에서 biasing 질문 [RF sheath와 self bias] [1] 685
96 해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안 [Plasma breakdown과 살균 과정] [1] file 683
95 glass에 air plasma 후 반응에 대해 질문이 있습니다. [상압 플라즈마 방전 메커니즘과 특성] [1] 679
94 PDP 방전갭에 따른 휘도에 관해 질문드려요 [Pd condition과 PDP] [1] 677

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