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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68517
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30 Remote plasma source의 주파수 400kHz 이유 [1] 280
29 PECVD 고온 공정에서 증착 막으로의 열전달 관련 문의드립니다. [1] 280
28 Plasma 장비 소재 특성 관련하여 문의드립니다. [1] 277
27 RF sputter 증착 문제 질문드립니다. [1] file 269
26 RIE 설비 관련 질문 좀 드려도 될까요? [1] 266
25 ICP 방식에서 RF Foward Power를 상향하면 ER이 빨라지는 이유 [1] 258
24 standing wave effect, skin effect 원리 [1] 245
23 메틸기의 플라즈마 에칭 반응 메커니즘 [1] 243
22 플라즈마 에너지가 온도를 높혀주는 역할 [1] 230
21 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [1] file 222
20 Compressive한 Wafer에 대한 질문 [1] 209
19 대기압 플라즈마 문의드립니다 [1] 207
18 gas에 따른 deposition rate 및 저항질문 있습니다 [1] 204
17 RF 스퍼터 관련 질문이 있습니다. [1] 200
16 플라즈마 제균 탈취 가능 여부 [1] 188
15 GWP(Global warming potential)에 따른 Etch gas 변화에 대한 질문 [1] 185
14 화장품 원료의 플라즈마 처리 문의 [1] file 170
13 플라즈마를 이용한 물속 세균 살균 질문드립니다. [1] 165
12 corona model에 대한 질문입니다. [1] 163
11 실리콘 수지 코팅 Tool에 Plasma 클리닝 시 코팅 제거 유/무 [1] 163

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