번호 제목 조회 수
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공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 22614
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 59310
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 71050
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 98094
88 반사파와 유,무효전력 관련 질문 [플라즈마 생성과 가열] [2] 509
87 RIE 식각공정중 발생하는 가스를 예측할 수 있는 메커니즘에 대해 질문하고 싶습니다. [플라즈마-화학-표면 반응 모델] [1] 505
86 타겟 임피던스 값과 균일도 문제 [플라즈마 확산] [1] 505
85 염소발생 전기분해 시 스파크 발생에 관해 질문드립니다. [방전과 에폭시] [1] file 502
84 메틸기의 플라즈마 에칭반응 메커니즘 [공정 플라즈마] [1] 501
83 plasma off시 일어나는 현상 문의드립니다. [DC 바이어스 전압과 쉬스 전기장] [1] 494
82 plasma modeling 관련 질문 [Balance equation] [1] 481
81 챔버의 Plasma density 확인방법 문의드립니다. [플라즈마 모니터링, OES, LP] [1] 480
80 skin depth에 대한 이해 [Stochastic heating 이해] [1] 468
79 CF4/Ar 을 활용한 Si/SiO2 에칭에 관한 질문입니다. [식각 교재 참고] [1] file 465
78 Etch Plasma 관련 문의 건.. [RF 주파수와 플라즈마 주파수] [1] 452
77 E-field plasma simulation correlating with film growth profile [플라즈마 확산과 밀도 분포] [1] 451
76 플라즈마 에너지가 온도를 높혀주는 역할 [전자 충돌 현상 및 입자 충돌 현상] [1] 447
75 chamber에 인가되는 forward power 관련 문의 [송전선로 모델 및 전원의 특성] [1] 446
74 Plasma 장비 소재 특성 관련하여 문의드립니다. [DC breakdown 및 sheath] [1] 444
73 RIE 설비 관련 질문 좀 드려도 될까요? [RF matcher noise] [1] 441
72 RIE Gas 질문 하나 드려도 될까요? [Sheath instability] [1] 440
71 RF sputter 증착 문제 질문드립니다. [OES 진단과 sputter yield] [1] file 440
70 RF 스퍼터 관련 질문이 있습니다. [장비 분해 리빌트 및 테스트] [1] 435
69 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [Rise rate] [1] 428
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