DC glow discharge LXcat Dataset에 따른 Plasma discharge 에 대한 질문입니다.

2023.06.15 22:50

조형준 조회 수:151

안녕하십니까 교수님, 현재 반도체 공정 분야를 전공하고 플라즈마 전공에 대해 관심이 생겨 공부를 하고있는 전자공학과 학부생 4학년 입니다. 다름이 아니라 LXcat에서 Biagi, Bsr, Lisbon, Hayashi, Triniti 총 5가지의 Cross section을 가지고 Comsol Simulation Tool을 통해 플라즈마 방전 시뮬레이션을 진행하였습니다. 그 결과 각 Dataset 마다 Electron density, Electron Temperature, Volatge 등이 각각 다르게 나타나는 결과를 확인할 수 있었습니다.

 

또한 각 Dataset에 대한 Simulation을 진행하였을 때 LXcat에 존재하는 TRINITI Metastable Excitation Cross section을 각 DataSet에 추가하였고 그 결과 Metastable excitation cross section을 추가하지 않았을 때 보다 Electron density는 증가하고 전자온도는 감소하는 것을 확인할 수 있었는데 이러한 결과가 나타나게된 원인이 무엇인지 궁금합니다.

 

다르게 나타난 원인에 대해 고민해본 결과 우선적으로 Set 별로 가지고 있는 Excited State 개수가 다르기 때문에 차이가 발생한 것이라는 결론을 내려보았지만 세부적인 부분에 대해서는 해결을 하지 못하여 이렇게 질문을 드리게 되었습니다. 또한 각각의 Dataset 별로 Electron density, Electron Temperature, Voltage가 다르게 나타나는 이유에 대해 여쭤봐도 되겠습니까?

 

바쁘신 와중에도 긴 글 읽어주셔서 정말 감사드립니다.

 

조형준 올림.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [275] 76843
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20252
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57192
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68744
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92602
36 Non-maxwellian 전자 분포의 원인 [1] 205
35 AP plasma 공정 관련 문의 [1] 204
34 플라즈마 식각 시 notching 현상 관련 [1] 202
33 플라즈마를 이용한 물속 세균 살균 질문드립니다. [1] 190
32 화장품 원료의 플라즈마 처리 문의 [1] file 187
31 파장길이와 동축 케이블 길이 관련 문의드립니다 [2] 183
30 FTIR분석을 이용한 SiO2성막 해석 182
29 실리콘 수지 코팅 Tool에 Plasma 클리닝 시 코팅 제거 유/무 [1] 173
28 CCP장비 discharge 전압 및 전류 측정 방법 과 matcher 문제 관하여 [2] file 171
27 ICP에서의 Self bias 효과 [1] 170
26 corona model에 대한 질문입니다. [1] 170
25 skin depth에 대한 이해 [1] 160
24 ICP에서 전자의 가속 [1] 151
» LXcat Dataset에 따른 Plasma discharge 에 대한 질문입니다. [1] 151
22 CF4/Ar 을 활용한 Si/SiO2 에칭에 관한 질문입니다. [1] file 142
21 DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지 [1] 139
20 챔버 내 전자&이온의 에너지 손실에 대해 [1] 132
19 sputtering 을 이용한 film depostion [1] 131
18 Microwave & RF Plasma [1] 130
17 Impedance I 값을 결정 짓는 요소 관련 질문 [1] 113
쓰기
태그

Boards

XE Login