번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [332] 102969
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24689
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61448
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73487
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105860
73 plasma off시 일어나는 현상 문의드립니다. [DC 바이어스 전압과 쉬스 전기장] [1] 601
72 인가전압과 ESC의 관계 질문 [Floating sheath] [1] 600
71 플라즈마 식각 시 notching 현상 관련 [Ar, O2 플라즈마 생성 특성] [1] 598
70 Cu migration 방지를 위한 스터디 [전자재료] [1] 593
69 타겟 임피던스 값과 균일도 문제 [플라즈마 확산] [1] 589
68 RIE 설비 관련 질문 좀 드려도 될까요? [RF matcher noise] [1] 586
67 Wafer 영역별 E/R 차이에 대한 질문 [Gas flow system vs E/R] [1] 583
66 RF sputter 증착 문제 질문드립니다. [OES 진단과 sputter yield] [1] file 583
65 Plasma 장비 소재 특성 관련하여 문의드립니다. [DC breakdown 및 sheath] [1] 578
64 RF 스퍼터 관련 질문이 있습니다. [장비 분해 리빌트 및 테스트] [1] 571
63 III-V 반도체 에칭 공정 문의 [1] 569
62 plasma modeling 관련 질문 [Balance equation] [1] 567
61 Tribo-Plasma 에 관해서 질문드리고 싶습니다. 567
60 micro arc에 대해 질문드립니다. [DC glow 방전과 breakdown 전기장] [1] 565
59 E-field plasma simulation correlating with film growth profile [플라즈마 확산과 밀도 분포] [1] 562
58 gas에 따른 deposition rate 및 저항질문 있습니다 [박막 문제] [1] 561
57 플라즈마 에너지가 온도를 높혀주는 역할 [전자 충돌 현상 및 입자 충돌 현상] [1] 554
56 RF플라즈마에서 quasineutral에 대해 궁금한게 있어 질문글 올립니다.[quasineutral] [1] file 551
55 chamber에 인가되는 forward power 관련 문의 [송전선로 모델 및 전원의 특성] [1] 545
54 Sputtering을 이용한 film deposition [진공 및 오염입자의 최소화] [1] 536

Boards


XE Login