번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [46] 859
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 719
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 49320
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 58464
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 72454
568 연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생 [1] 485
567 O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의 file 417
566 ESC Chuck 기능이 Wafer 위에서의 Chemical Bond 생성을 boosting 할 수 있는지 궁금합니다. [1] 4017
565 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] 336
564 압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문 [1] 1023
563 플라즈마볼 제작시 [1] file 352
562 안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출) [1] file 1304
561 Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 [1] 318
560 Etcher Chamber Wall에 의도적으로 Polymer를 증착시키고 싶습니다. [2] 2663
559 좁은 간격 CCP 전원의 플라즈마 분포 논문에 대해 궁금한 점이 있습니다. [2] 408
558 알고싶습니다 [1] 300
557 교수님 안녕하세요, icp 관련 질문이 있습니다. [2] 1211
556 Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요 [2] 236
555 안녕하세요 OLED 증착 시 궁금한점이있어 문의드립니다 [2] 253
554 Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다. [2] 1402
553 PECVD 공정 진행중 chamber wall 부분에서 보이는 plasma instability 관련 질문 드립니다. [1] 1042
552 안녕하세요. 교수님 ICP관련하여 문의드립니다. [2] 1728
551 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다 [1] 244
550 전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다. [1] file 644
549 챔버내 Arcing 발생 개선안에 대해 질문드립니다. [2] 752

Boards


XE Login