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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 59402
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573 엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다. [1] 279
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571 ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [2] 361
570 Interlock 화면.mag overtemp의 의미 308
569 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [1] 475
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567 O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의 file 444
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562 안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출) [1] file 1376
561 Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 [1] 324
560 Etcher Chamber Wall에 의도적으로 Polymer를 증착시키고 싶습니다. [2] 2704
559 좁은 간격 CCP 전원의 플라즈마 분포 논문에 대해 궁금한 점이 있습니다. [2] 801
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