Etch O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의

2020.10.28 15:20

nons 조회 수:702

안녕하십니까

반도체 소재 회사에 다니고 있는 노은수 입니다.

궁금한게 있어서 문의 드립니다.

 

O2 etch 후 gas의 접촉면과 닿은 polymer에서 아래의 그림과 같이 손톱모양으로 변성(?)이 되는 현상이 있는데 왜 이러한 현상이 발생 하는지 알고 싶습니다. 

 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [101] 3649
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 15344
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 50578
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 62996
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 82140
608 전자 온도 구하기 [1] file 504
607 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [1] 186
606 CVD 공정에서의 self bias [1] 949
605 PP & PET 친수성과 접착성 유지 질문입니다. [1] 2813
604 잔류시간 Residence Time에 대해 [1] 336
603 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 답변 정말 감사합니다! 1498
602 ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 344
601 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 어떤 이유들이 있을까요..? [2] 481
600 CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응 [1] 406
599 Edge ring과 플라즈마 밀도 균일성 [1] 611
598 [Etching 공정 중 wafer를 고정하기 위해 사용되는 Ring관련] [3] 880
597 매칭시 Shunt와 Series 값 [1] 671
596 RF Power와 균일도 연관성 질문드립니다. [2] 1252
595 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [1] file 142
594 CCP에서 전극에 쌓이는 막질에 의한 Capacitance 변화가 궁금합니다 [1] 1684
593 low pressure 영역에서 아킹이 더 쉽게 발생하는 이유에 관해 문의드립니댜. [1] 741
592 안녕하세요? 임피던스 매칭관련 질문드립니다. [1] 912
591 electron energy distribution에 대해서 질문드립니다. [2] 2423
590 안녕하세요 플라즈마의 원초적인 개념에서 궁금한 점이 생겨서 질문드립니다. [1] 507

Boards


XE Login