안녕하세요 저는 현재 PECVD 장비를 사용하는 연구원입니다.

 

어플라이드社의 PRODUCER-S 설비로 ACL 공정을 Set-up하고 있습니다.

 

Unif를 잡기위해서 압려과 RF Power를 건드려 가며 조정 중에 있는데

 

RF Ref가 어떤 조건에서는 높게 뜨고 어떤 조건에서는 낮게 뜨는데 어떤 조건이 영향을 미칠까요?

 

알려주시면 감사하겠습니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [256] 76431
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19995
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57067
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68543
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91342
717 염소발생 전기분해 시 스파크 발생에 관해 질문드립니다. [1] file 386
716 Sheath와 Plasma Bulk에 걸리는 전압 관련 문의 [1] 386
715 타겟 임피던스 값과 균일도 문제 [1] 394
714 PECVD Uniformity [1] 394
713 ISD OES파형 관련하여 질문드립니다. [1] 398
712 H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련 [1] 420
711 PDP 방전갭에 따른 휘도에 관해 질문드려요 [1] 421
710 크룩수의 음극선도 플라즈마의 현상인가요? [1] 423
709 VPS 공정에서 압력변수관련 질문입니다. [1] 423
708 스퍼터링 Dep. 두께 감소 관련 문의사항 [1] 426
707 AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 428
706 KM 모델의 해석에 관한 질문 [1] 434
705 glass에 air plasma 후 반응에 대해 질문이 있습니다. [1] 437
704 PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [2] 438
703 안녕하세요 DBD 플라즈마 소독 관련질문입니다. [1] 441
702 Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [1] 443
701 plasma striation 관련 문의 [1] file 450
700 magnetic substrate와 플라즈마 거동 [3] 459
699 코로나 방전 처리 장비 문의드립니다. [1] 460
698 플라즈마 세정처리한 PCB, Lead Frame 재활용 방법 [1] 460

Boards


XE Login