번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] 76631
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20134
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57142
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68660
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92071
727 ICP dry etch 장비에서 skin depth가 클수록 좋다고 볼 수 있는 건가요? [1] 24316
726 [질문] ICP plasma 를 이용하여 증착에 사용하고 있는데요. [3] 24294
725 Dechucking 시 wafer 상의 전하 문제 24169
724 플라즈마에 관해 질문 있습니다!! 24120
723 self Bias voltage 24019
722 plasma and sheath, 플라즈마 크기 23968
721 플라즈마 쉬스 23929
720 Arcing 23778
719 N2 플라즈마 공정 시간에 따른 Etching rate의 변화 이유가 알고 싶어요 [2] 23752
718 플라즈마 물리학책을 읽고 싶습니다. 23435
717 광플라즈마(Photoplasma)라는 것이 있는가요? 23375
716 HVDC Current '0'으로 떨어지고, RF Bias Reflect (RF matching이 깨지는 현상) 발생 23323
715 CCP 방식에 Vdc 모니터링 궁금점. 23258
714 DC glow discharge 23239
713 고온플라즈마와 저온플라즈마 23114
712 No. of antenna coil turns for ICP 23088
711 입력전력에 따른 플라즈마 밀도 변화 (ICP/CCP) 23048
710 CCP/ICP , E/H mode 22955
709 안녕하세요. O2 Plasma 관련 질문좀 드리겠습니다. 22936
708 floating substrate 에서 sheath 형성 과정 의문점 [2] 22843

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