Others 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다.
2020.07.12 22:53
안녕하세요?
저는 플라즈마에 관심이 많은 학생입니다.
다름이 아니라, 플라즈마 공정 시 어떠한 박막에 대하여 photon이 박막의 결합을 파괴하면서 플라즈마 손상을 줄 수 있다는 내용을 들었는데요,
자외선 측정기들을 찾아보니 mW/cm^2 의 값으로, 측정이 되어 값을 알 수 있는데,
예를 들어 어느 한 결합의 결합 에너지가 10 eV 라면, 자외선 측정기의 값과 결합에너지를 직접적으로 광자에너지의 단위로 비교가 가능할까요?
검색해보니 mW 는 시간을 도입하여 mW x sec --> mJ로 계산이 되고 이를 eV로는 변환할 수 있는 것 까지는 확인하였으나 /cm^2 를 어떻게 해야할지 잘 모르겠습니다.
고견주시면 감사드리겠습니다.
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [269] | 76739 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20211 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57168 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68703 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92295 |
212 | 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [1] | 225 |
211 | low pressure 영역에서 아킹이 더 쉽게 발생하는 이유에 관해 문의드립니댜. [1] | 1354 |
210 | electron energy distribution에 대해서 질문드립니다. [2] | 3205 |
209 | 안녕하세요 플라즈마의 원초적인 개념에서 궁금한 점이 생겨서 질문드립니다. [1] | 856 |
208 | RIE에서 O2역할이 궁금합니다 [4] | 3776 |
207 | Decoupled Plasma 관련 질문입니다. [1] | 1050 |
206 | 플라즈마 용어 질문드립니다 [1] | 780 |
205 | 압력과 플라즈마 크기의 관계가 궁금합니다. [1] | 28521 |
204 | Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [1] | 456 |
203 | 플라즈마 기술관련 문의 드립니다 [1] | 6418 |
202 | 플라즈마볼 제작시 [1] | 2238 |
201 | Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요 [2] | 950 |
200 | PECVD 공정 진행중 chamber wall 부분에서 보이는 plasma instability 관련 질문 드립니다. [1] | 1442 |
199 | 플라즈마 PIC 질문드립니다. [1] | 10379 |
198 | 진공장치 챔버내 산소 또는 수분 제거 방법에 대해 [1] | 3753 |
» | 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [1] | 484 |
196 | 플라즈마 입자 운동 원리(전자기장에서) [1] | 1798 |
195 | 플라즈마 살균 방식 [2] | 11450 |
194 | RF/LF에 따른 CVD 막질 UNIFORMITY [1] | 2398 |