안녕하세요. 전남대학교 정세훈이라고 합니다.
몇가지 궁금한점이 있어 질문드립니다

a)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 500 eV.

b)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 5000 eV

Cu원자의 에너지값이 어떻게되나요? 여러논문을 검색해보았는데
thompson distribution E/(E+Eb) 에 대해서는 나오는데.. 계산이 잘 안돼서요..
--------------------
위의 질문에 대한 참고 자료를 군산대학교 주정훈교수님께서 올려 주셨습니다. 그림과 같이 Kr 입자 조사에 의한 스퍼터링된 Cu의 에너지 및 이탈 속도 함수를 보여주고 있습니다. Ar과 조사 입자의 질량 차이가 있을 뿐 이를 고려한다면 거의 현상은 유사할 것으로 판단됩니다. 이 자료는 교재에 있다고 하니 참고하시기 바랍니다. 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] 76636
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20143
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57145
» kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68666
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92112
41 RF power에 대한 설명 요청드립니다. [1] 5136
40 RF chamber에서.. particle(부유물) 와 RF reflect power연관성 [1] 4155
39 ICP plasma에서 RF bias에 대한 문의가 있습니다 [2] 3945
38 진공장치 챔버내 산소 또는 수분 제거 방법에 대해 [1] 3717
37 Gas 별 Plasma 색 관련 질문입니다. [1] 3431
36 Bias 관련 질문 드립니다. [1] 3397
35 질문있습니다. [1] 2560
34 O2 플라즈마 클리닝 관련 질문 [1] 1557
33 강의를 들을 수 없는건가요? [2] 1443
32 O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다. [1] 1418
31 플라즈마 관련 교육 [1] 1401
30 플라즈마 내에서의 현상 [1] 1386
29 플라즈마에서 가속 전압 또는 RF 파워 관련 질문드려요. [1] 1275
28 RF Power 인가 시 Gas Ramping Flow 이유 [1] 1230
27 Group Delay 문의드립니다. [1] 1142
26 플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다 [1] 1125
25 잔류시간 Residence Time에 대해 [1] 1099
24 진학으로 고민이 있습니다. [2] 1029
23 O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] 956
22 Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요 [2] 941

Boards


XE Login