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공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19992
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57066
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68542
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119 Plasma etch관련 질문이 드립니다. [1] 1217
118 텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다. [1] 1228
117 [CVD] 막 증착 관련 질문입니다. [4] 1274
116 부가적인 스퍼터링 관련 질문 드립니다. [1] 1315
115 Matcher의 효율에 대한 내용에 대해서 궁금합니다. [1] 1322
114 poly식각을 위한 조언 부탁드립니다. file 1386
113 Depo시 RF 초기 Reflect 관련하여 문의드립니다. [1] 1404
112 Ar plasma power/time [1] 1414
111 PECVD 증착에서 etching 관계 [1] 1435
110 Pecvd 장비 공정 질문 [1] 1610
109 CVD품질과 RF Delivery power 관계 질문 [1] 1671
108 터보펌프 에러관련 [1] 1722
107 PECVD 증착시 온도, 기판의 종류의 영향에 대해서 질문드립니다! [1] 1729
106 wafer 두께가 증가함에 따라 Er이 급격하게 떨어지는 현상 [1] 1732
105 RF FREUENCY 와 D/R 과의 상관 관계에 관한 질문입니다. [1] 1802
104 Al Dry Etch 후 잔류 Cl 이온 제어를 위한 후처리 방법 [1] 1807
103 압력, 유량과 residence time에 대해 질문있습니다. [1] 1831
102 식각 시 나타나는 micro-trench 문제 [1] 1891
101 플라즈마 에칭 과 표면처리 의 차이점 질문드립니다. [1] 1921
100 doping type에 따른 ER 차이 [1] 2011

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