Plasma in general Co-relation between RF Forward power and Vpp
2022.04.27 17:35
Hello,
I am working on a ALD (Atomic layer deposition) product wherein we are processing multiple wafers in the single reactor.
When we supply RF power to one of the reactor (i.e. REACTOR 1), the other reactor (REACTOR 2) beside reactor 1 is showing high Vpp value. We are not supplying RF power to reactor 2. (Please note reactor 1 & reactor 2 share the gas flow volume and are not fully isolated)
Why would this be happening ?
댓글 1
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [219] | 75416 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 19150 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 56477 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 67545 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 89325 |
| 688 | Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [1] | 407 |
| 687 | OES를 통한 공정 개선 사례가 있는지 궁금합니다. [1] | 408 |
| 686 | KM 모델의 해석에 관한 질문 [1] | 409 |
| 685 | 안녕하세요 DBD 플라즈마 소독 관련질문입니다. [1] | 416 |
| 684 | glass에 air plasma 후 반응에 대해 질문이 있습니다. [1] | 419 |
| 683 |
RF Sputtering Target Issue
[2]  | 421 |
| 682 | 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [1] | 425 |
| 681 | magnetic substrate와 플라즈마 거동 [3] | 427 |
| 680 | CCP RIE 플라즈마 밀도 [1] | 427 |
| 679 | 챔버 시즈닝에 대한 플라즈마의 영향성 [1] | 427 |
| 678 | OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [1] | 429 |
| 677 | 코로나 방전 처리 장비 문의드립니다. [1] | 430 |
| 676 | 핵융합 질문 [1] | 436 |
| 675 | Tribo-Plasma 에 관해서 질문드리고 싶습니다. | 438 |
| 674 | 수중방전에 대해 질문있습니다. [1] | 442 |
| 673 | (PAP)plasma absorption probe관련 질문 [1] | 447 |
| 672 | 기판표면 번개모양 불량발생 [1] | 448 |
| 671 | 산소 플라즈마에 대한 질문입니다... | 449 |
| 670 | 정전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다. [1] | 454 |
| 669 | Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. | 456 |