안녕하세요 저는 현재 PECVD 장비를 사용하는 연구원입니다.

 

어플라이드社의 PRODUCER-S 설비로 ACL 공정을 Set-up하고 있습니다.

 

Unif를 잡기위해서 압려과 RF Power를 건드려 가며 조정 중에 있는데

 

RF Ref가 어떤 조건에서는 높게 뜨고 어떤 조건에서는 낮게 뜨는데 어떤 조건이 영향을 미칠까요?

 

알려주시면 감사하겠습니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [332] 102872
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24688
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61421
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73479
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105834
773 micro arc에 대해 질문드립니다. [DC glow 방전과 breakdown 전기장] [1] 564
772 Tribo-Plasma 에 관해서 질문드리고 싶습니다. 567
771 plasma modeling 관련 질문 [Balance equation] [1] 567
770 RF 스퍼터 관련 질문이 있습니다. [장비 분해 리빌트 및 테스트] [1] 571
769 Wafer 영역별 E/R 차이에 대한 질문 [Gas flow system vs E/R] [1] 577
768 Plasma 장비 소재 특성 관련하여 문의드립니다. [DC breakdown 및 sheath] [1] 578
767 RF sputter 증착 문제 질문드립니다. [OES 진단과 sputter yield] [1] file 583
766 RIE 설비 관련 질문 좀 드려도 될까요? [RF matcher noise] [1] 585
765 타겟 임피던스 값과 균일도 문제 [플라즈마 확산] [1] 589
764 Cu migration 방지를 위한 스터디 [전자재료] [1] 590
763 플라즈마 식각 시 notching 현상 관련 [Ar, O2 플라즈마 생성 특성] [1] 593
762 인가전압과 ESC의 관계 질문 [Floating sheath] [1] 594
761 plasma off시 일어나는 현상 문의드립니다. [DC 바이어스 전압과 쉬스 전기장] [1] 601
760 CVD 박막 Clean 중 Ar에 의한 Etch 여부가 궁금합니다. [Ar plasma chemical etching] [1] 605
759 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 2 606
758 안녕하세요 DBD 플라즈마 소독 관련질문입니다. [상압 플라즈마 임피던스, matching] [1] 610
757 텅스텐 Plasma Cleaning 효율 불량 [Plasma Cleaning] [1] 611
756 공정 DATA TARGET 간 난제가 있어 문의드립니다. [Sheath uniformity 이해] [1] 614
755 산소 플라즈마에 대한 질문입니다... 630
754 RIE 식각공정중 발생하는 가스를 예측할 수 있는 메커니즘에 대해 질문하고 싶습니다. [플라즈마-화학-표면 반응 모델] [1] 630

Boards


XE Login