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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 59325
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575 Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 [1] 324
574 ESC Dechuck과 관련하여 궁금한점이 있어 문의를 드립니다. [1] 325
573 핵융합 질문 [1] 327
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571 코로나 방전 처리 장비 문의드립니다. [1] 332
570 Tribo-Plasma 에 관해서 질문드리고 싶습니다. 336
569 Si Wafer에 Plasma를 처리했을때 정전기 발생 [1] 337
568 OES 분석 관련해서 질문드립니다. [1] 337
567 LF Power에의한 Ion Bombardment [1] 338
566 RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상 [1] 347
565 프리쉬스에 관한 질문입니다. [1] 347
564 활성이온 측정 방법 [1] 349
563 해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안 [1] file 349
562 CCP에서 전극에 쌓이는 막질에 의한 Capacitance 변화가 궁금합니다 [1] 351
561 [Etching 공정 중 wafer를 고정하기 위해 사용되는 Ring관련] [3] 351
560 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] 355
559 ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [2] 360
558 RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] 361
557 analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] 362
556 CVD (CCP) 공정의 Chamber seasoning과 플라즈마 밀도 [1] 362

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