제가 self bias에 대해 이해한 바는,

"RF를 가해주면,전자와 양이온의 이동도 차이로 인해 양 전극에 모두 self bias가 나타난다. 두 전극의 면적이 동일하면 같은 크기의 self bias가 생겨 전위가 같아져 어느 한쪽이 음극의 역할을 하지 못하므로 면적조절,capacitor연결,접지 등의 방법으로 한 쪽의 self bias크기를 키워 한쪽 전극을 음극의 역할을 할 수 있게 만들어준다."

입니다.

혹시 이해한 내용이 맞는지 확인 한번만 해주시면 감사하겠습니다!

 

제가 헷갈리는 부분은

교수님께서는 "이때의 표면 전위는 충전에 의한 전위 (전압)으로 인가된 전원 전압(RF)의 DC shift 값을 의미하게 되며, 플라즈마와 만나는 전극의 DC shift 전압을 스스로 결정이 되는 값으로서 selfbias 값이라고도 합니다. 따라서 모든 전극면에는 DC shift 전압이 만들어집니다."라고 설명해주셨으나, 교육에서는 두 전극의 크기가 같고 조건이 동일하다면, self bias가 형성되지 않는다. 라고 하였습니다.  제가 교수님 말씀을 이해한 바로는 두 전극의 면적이 동일하더라도 양 전극에 크기가 같은 self bias가 생기는 것이라고 이해했기 때문입니다.

하여 두 내용이 조금 모순되는 부분인 것 같아 제가 개념을 잘못이해하고 있는 것인지 궁금해서 질문드립니다! 읽어주셔서 감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [286] 77294
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20491
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57410
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68940
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92987
219 플라즈마 진단 공부중 질문 [1] 720
218 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] 742
217 Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [1] 762
216 교수님 질문이 있습니다. [1] 781
215 Hollow Cathode glow Discharge 실험 관련해서 여쭤보고싶습니다. [1] file 785
214 플라즈마 용어 질문드립니다 [1] 796
213 RF 주파수에 따른 차이점 [1] 803
212 Collisional mean free path 문의... [1] 808
211 플라즈마 충격파 질문 [1] 817
210 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [1] 836
209 플라즈마용사코팅에서의 carrier gas [1] 856
208 RF MATCHING 관련 교재 추천 부탁드립니다 [1] 873
» Self bias 내용 질문입니다. [1] 885
206 문의 드립니다. [1] 886
205 RF 전압인가 시 LF와 HF 에서의 Sheath 비교 [1] 935
204 플라즈마 기초에 관하여 질문드립니다. [1] 946
203 안녕하세요 플라즈마의 원초적인 개념에서 궁금한 점이 생겨서 질문드립니다. [1] 946
202 상압플라즈마 제품 원리 질문드립니다 [2] 969
201 O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] 973
200 RF tune position 과 Vrms의 관계가 궁금합니다 [1] 988

Boards


XE Login