ICP ICP 대기압 플라즈마 분석

2021.11.11 14:47

플라즈마스터 조회 수:460

안녕하세요. 교수님,

 

 

합성을 목적으로 두고 있는 5kW, 13.56MHz RF generator, ICP coil 을 이용해 대기압 플라즈마를 생성할 때 플라즈마 특성을 분석을 하고 싶은데,  일반적으로 많이 사용하는 RGA는 진공 환경에서 작동되는 것으로 알고있습니다. 관련 내용을 홈페이지에서 검색해 보니 2004년도에 교수님께서는 탐침과 OES 등을 이용해 분석하셨다고 쓰여있는데,

 

1. 혹시 그 동안 분석 방법에 대해서 발전된 것이 있는지,

2. 여전히 같은 방법으로 사용하고 계시다면 탐침과 OES로 어떤 것을 사용하였는지 

 

제가 고체 물리 전공이지만 시료 합성을 위해 PECVD 관련 내용을 공부한지 얼마 안돼 관련 전공 지식이 많이 부족한 상태입니다. 추가적으로 해당 모델에 대해서 제가 공부하기 좋은 내용을 추천해 주시면 감사하겠습니다.

 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [143] 5808
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 17215
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 53073
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64487
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 85101
638 전자기장 및 유체 시뮬레이션 관련 [1] 439
637 해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안 [1] file 446
636 Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 [1] 448
635 RF 파워서플라이 매칭 문제 452
634 프리쉬스에 관한 질문입니다. [1] 453
633 CCP Plasma 해석 관련 문의 [1] file 453
632 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] 455
631 Interlock 화면.mag overtemp의 의미 457
» ICP 대기압 플라즈마 분석 [1] 460
629 Frequnecy에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [1] 461
628 CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [1] 464
627 활성이온 측정 방법 [1] 469
626 수중 속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다 [2] file 472
625 analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] 476
624 Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요 [2] 476
623 RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] 478
622 라디컬의 재결합 방지 [1] 488
621 RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상 [1] 489
620 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다 [1] 489
619 Hollow Cathode glow Discharge 실험 관련해서 여쭤보고싶습니다. [1] file 492

Boards


XE Login