번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [256] 76438
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19997
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57072
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68544
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91345
717 ICP dry etch 장비에서 skin depth가 클수록 좋다고 볼 수 있는 건가요? [1] 24271
716 [질문] ICP plasma 를 이용하여 증착에 사용하고 있는데요. [3] 24172
715 Dechucking 시 wafer 상의 전하 문제 24134
714 플라즈마에 관해 질문 있습니다!! 24116
713 self Bias voltage 23949
712 plasma and sheath, 플라즈마 크기 23944
711 플라즈마 쉬스 23901
710 Arcing 23693
709 N2 플라즈마 공정 시간에 따른 Etching rate의 변화 이유가 알고 싶어요 [2] 23692
708 플라즈마 물리학책을 읽고 싶습니다. 23408
707 광플라즈마(Photoplasma)라는 것이 있는가요? 23347
706 HVDC Current '0'으로 떨어지고, RF Bias Reflect (RF matching이 깨지는 현상) 발생 23308
705 CCP 방식에 Vdc 모니터링 궁금점. 23238
704 DC glow discharge 23193
703 고온플라즈마와 저온플라즈마 23085
702 No. of antenna coil turns for ICP 23052
701 입력전력에 따른 플라즈마 밀도 변화 (ICP/CCP) 23015
700 안녕하세요. O2 Plasma 관련 질문좀 드리겠습니다. 22923
699 CCP/ICP , E/H mode 22863
698 floating substrate 에서 sheath 형성 과정 의문점 [2] 22828

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