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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68530
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92 챔버내 Arcing 발생 개선안에 대해 질문드립니다. [2] 4256
91 RPSC 관련 질문입니다. [2] 3903
90 CCP/ICP 의 플라즈마 밀도/균일도 에 대해서 질문이 있습니다. [3] 3522
89 CCP 구조가 ICP 구조보다 Arcing 발생에 더 취약한가요? [3] 3454
88 RF plasma 증착 시 arcing 관련하여 질문드립니다. [1] 3348
87 PP & PET 친수성과 접착성 유지 질문입니다. [1] 3295
86 플라즈마 밀도 관련 문의 드립니다. [1] 2657
85 수소 플라즈마 관련해서 질문이 있습니다. [3] 2581
84 고온의 플라즈마와 저온의 플라즈마의 차이 [1] 2551
83 안녕하세요. 교수님 ICP관련하여 문의드립니다. [2] 2412
82 RPS를 이용한 SIO2 에칭 [1] 2314
81 교수님 안녕하세요, icp 관련 질문이 있습니다. [2] 2244
80 RF 주파수와 공정 Chamber 크기의 상관관계 [1] 2219
79 CCP plasma에서 gap과 Pressure간의 상관관계 [1] 2212
78 Ar과 O2 plasma source에 따른 ignition condition에 대하여 질문 있습니다. [1] 2181
77 ECR 플라즈마에 대해서 질문 드립니다. [1] 2120
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