Deposition 플라즈마 코팅에 관하여

2004.06.25 16:45

관리자 조회 수:21813 추천:303

질문 ::

저는 직장에 다니는 회사원입니다. 얼마전 선배로 부터 플라즈마 코팅이라는 것을 문의 받았는데, 정확한 답변을 할 수가 없었습니다. 플라즈마 코팅의 원리와 국내 전문가를 소개시켜 주실 수 있는지요?

답변 ::

플라즈마를 이용한 코팅을 한마디로 설명하기는 어렵지만 간단히 생각해 보면 화학물이 시편 표면을 덮는데 플라즈마 환경을 이용한다고 생각할 수 있습니다. 플라즈마는 화학물의 활성에너지를 제공하거나 화학물이 시편 표면과 잘 반응하도록 합니다. 특히 플라즈마 내의 전자에 의해서 기체 상태의 화학물들은 해리되어 래디컬을 형성하여 시편 표면과 활발하게 반응하여 표면에 정착하게 됩니다. 이들 화학물은 시편 표면에 작은 섬을 만들고 그 섬 주변으로 점차 커지는데 이런 섬들이 많아지면 옆의 섬과 연결되면서 시편 전체를 덮게 됩니다. 따라서 시편과 코팅 목적에 알맞는 화학물을 선택하는 것이 매우 중요하며 플라즈마를 이용하고자 한다면 화학물을 기체상태 속에 넣을 수 있어야 합니다. 이렇게 플라즈마의 도움을 받아 표면에 화학물을 코팅하는 기술을 PECVD 혹은 PACVD라고 합니다. 이에 관한 연구는 대단히 활발함으로 주변의 대학 재료공학과에서 전문가를 쉽게 찾으실 수 있을 것 입니다. 혹은 본 란에 답글을 자주 올려주시는 군산대학의 주정훈 교수님이나 울산대학의 천희곤교수님을 찾아 원하시는 코팅에 대한 자문을 받아 보시는 편이 좋을 것 같습니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [54] 1194
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 941
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 49375
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 59476
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 74174
577 플라즈마 물리학책을 읽고 싶습니다. 22597
576 No. of antenna coil turns for ICP 22596
575 안녕하세요. O2 Plasma 관련 질문좀 드리겠습니다. 22584
574 DC glow discharge 22429
573 self Bias voltage 22376
572 [질문] ICP plasma 를 이용하여 증착에 사용하고 있는데요. [3] 22359
571 입력전력에 따른 플라즈마 밀도 변화 (ICP/CCP) 22347
570 MATCHING NETWORK 에서 BACKWARD BIAS 가 생성되는 이유가 무엇 입니까? [3] 22254
569 [질문] Plasma density 측정 방법 [1] 22236
568 floating substrate 에서 sheath 형성 과정 의문점 [1] 22222
567 pulse plasma 측정을 위한 Langmuir probe 사용 방법 관련.. [1] 22209
566 고온플라즈마와 저온플라즈마 22196
565 Dry Etcher 에 대한 교재 [1] 22101
564 plasma와 arc의 차이는? 21985
563 Peak RF Voltage의 의미 21952
» 플라즈마 코팅에 관하여 21813
561 Dry Etch장비에서 Vdc와 Etch rate관계 [1] 21811
560 플라즈마 온도 질문 + 충돌 단면적 21668
559 Dry Etcher 내 reflect 현상 [2] 21622
558 펄스바이어스 스퍼터링 답변 21621

Boards


XE Login