플라즈마 기본 사양 문의

2018.02.27 10:50

포포쿱 조회 수:615

안녕하세요

플라즈마 기기에 급 관심을 갖게된 대학생입니다.


기본적으로 몇가지 문의 드리고 싶은데 아시는 분들은 말씀 부탁드립니다.


1. 저온 플라즈마의 측정 단위?

빛은 에너지밀도, 파장대로 어떤 기기의 출력 스펙을 한정하듯 저온 플라즈마 스펙도 전압, 주파수, 파장, 에너지밀도 등으로

쓸 수 있는건가요?

그렇다면 어떤 측정 단위를 쓰나요? V ? W ? W/m2 ? nm ?


2. 고전압

3KV 이상의 고전압을 걸어야 플라즈마 형태로 기체를 이온화? 시킬 수 있는것으로 알고 있는데

혹시 이 고전압이 불량이 나거나 이상이 생겼을때 위험하진 않나요



3. 인체 안전성?

플라즈마를 인체에 쐬어 주었을때 나타나는 부작용? 등이 있을까요?

반응성이 크고 에너지가 큰 상태인 플라즈마가 어떤 작용을 할거같은데..



4. 플라즈마 측정 방법


플라즈마가 나오는지 측정하려면 분광기?등 어떤 장비를 사용해야 하나요?

측정해주는 기관이나 (공공기관) 실험실이 있으면 추천 부탁드립니다.

1번과 같은 질문인데  측정하면 뭘 어떻게 어떤 스펙을 측정하는지도 .....궁금합니다





감사합니다.











번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [271] 76750
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20217
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57170
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68707
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92309
730 ICP dry etch 장비에서 skin depth가 클수록 좋다고 볼 수 있는 건가요? [1] 24339
729 [질문] ICP plasma 를 이용하여 증착에 사용하고 있는데요. [3] 24314
728 Dechucking 시 wafer 상의 전하 문제 24174
727 플라즈마에 관해 질문 있습니다!! 24122
726 self Bias voltage 24037
725 plasma and sheath, 플라즈마 크기 23975
724 플라즈마 쉬스 23935
723 Arcing 23807
722 N2 플라즈마 공정 시간에 따른 Etching rate의 변화 이유가 알고 싶어요 [2] 23760
721 플라즈마 물리학책을 읽고 싶습니다. 23442
720 광플라즈마(Photoplasma)라는 것이 있는가요? 23384
719 HVDC Current '0'으로 떨어지고, RF Bias Reflect (RF matching이 깨지는 현상) 발생 23333
718 CCP 방식에 Vdc 모니터링 궁금점. 23262
717 DC glow discharge 23246
716 고온플라즈마와 저온플라즈마 23127
715 No. of antenna coil turns for ICP 23097
714 입력전력에 따른 플라즈마 밀도 변화 (ICP/CCP) 23068
713 CCP/ICP , E/H mode 22984
712 안녕하세요. O2 Plasma 관련 질문좀 드리겠습니다. 22943
711 floating substrate 에서 sheath 형성 과정 의문점 [2] 22852

Boards


XE Login