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공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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RF generator의 AMP 종류 질문입니다.
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반사파에 의한 micro arc 질문
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RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다.
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RF magnetron Sputtering 공정에서의 질문
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스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다
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Ni DC 스퍼터 관련 질문있습니다.
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자성 물질 Etching 시 Process Parameter 질문
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내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다.
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진공 챔버에서 Plasma Off시 Particle의 wafer 표면 충돌 속도
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플라즈마 설비에 대한 질문
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새삼스럽지만 챔버 내에 전류의 정의를 여쭤보고싶습니다.
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6 |
Showerhead와 Heater간 간격에 따른 RPC 효율성
[1] | 45 |
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플라즈마 식각 커스핑 식각량
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4 |
Si 와 SiO의 선택적 식각 관련 문의입니다.
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3 |
DBD 방전 방식의 저온 플라즈마 관련해서 3가지 질문 드립니다.
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2 |
Druyvesteyn Distribution
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1 |
C2H2 플라즈마코팅시 가스 원인과 대책
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