ICP ICP 플라즈마에 관해서

2004.06.19 15:58

관리자 조회 수:32034 추천:276

안녕하세요.

늘 이곳에 와서 질문-응답의 열띤 글들과 학회 방문기를 잘 읽었는데 모두 없어졌다니 너무 가슴이 아프네요.
예전에 있었던 내용인 것 같은데 최근 실험을 하다가 부딪히게 되어 질문을 드립니다. 그때 미리 보았으면 좋았을 텐데.

ICP 플라즈마를 발생시킴에 있어서 CCP mode 와 ICP mode 의 차이가 어떻게 다른 것인지요? CCP mode를 마치 흔히 사용하듯이 기판(평판 기판)에 바이어스를 걸어줄때 발생하는 플라즈마처럼 생각하면 되는지요?
그리고 또하나 Matching box 에서 capacitance 를 접지시킬때와 그렇지 않은 경우 어떻게 차이가 나는지요?

이 게시물을
수정 삭제 목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [279] 77000
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20343
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57265
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68809
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92809
21 반사파에 의한 micro arc 질문 [2] 128
20 RF generator의 AMP 종류 질문입니다. [1] 128
19 RF magnetron Sputtering 공정에서의 질문 [1] 104
18 새삼스럽지만 챔버 내에 전류의 정의를 여쭤보고싶습니다. [1] 103
17 진공 챔버에서 Plasma Off시 Particle의 wafer 표면 충돌 속도 [1] 102
16 RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다. [1] 96
15 Showerhead와 Heater간 간격에 따른 RPC 효율성 [1] 89
14 플라즈마 설비에 대한 질문 84
13 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 84
12 Si 와 SiO의 선택적 식각 관련 문의입니다. 82
11 자성 물질 Etching 시 Process Parameter 질문 [1] 77
10 Ni DC 스퍼터 관련 질문있습니다. [1] 76
9 내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. [1] 68
8 공정 DATA TARGET 간 난제가 있어 문의드립니다. [1] 44
7 플라즈마 식각 커스핑 식각량 42
6 DBD 방전 방식의 저온 플라즈마 관련해서 3가지 질문 드립니다. [1] 38
5 스터퍼링시 기판 온도 계산에 대해 질문드립니다! [1] 34
4 HE LEAK 과 접촉저항사이 관계 [1] 26
3 Druyvesteyn Distribution 25
2 PECVD 실험을 하려고 하는데 조언 구합니다. 22
쓰기
태그

Boards

XE Login