현재 반도체 장비 업체에 근무하고 있는 엔지니어입니다.

신입사원 발표 과제로 스퍼터링시 기판 온도 계산하는 과정을 직접 변수를 설정하고 구해보라고 주제를 받았습니다.

대충 타겟 온도를 200도, 냉각 장치를 20도라고 가정하고 타겟은 알루미늄 기판은 유리로 가정해봤는데

여러 열역학 이론을 공부해봤지만 아무래도 기판 온도를 계산하는 법 방향성을 못잡겠습니다..

조언주시면 감사합니다!!

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [332] 102963
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24689
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61445
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73484
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105857
33 DBD 방전 방식의 저온 플라즈마 관련해서 3가지 질문 드립니다. [DBD 방전과 DC breakdown] [1] 426
32 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [초고밀도 플라즈마] [1] file 424
31 Si 와 SiO의 선택적 식각 관련 문의입니다. 419
30 화장품 원료의 플라즈마 처리 문의 [환경 플라즈마] [1] file 412
29 실리콘 수지 코팅 Tool에 Plasma 클리닝 시 코팅 제거 유/무 [대기압 플라즈마, highly collisional plasma] [1] 412
28 Ni DC 스퍼터 관련 질문있습니다. [Base pressure 이해] [1] 405
27 챔버 내 전자&이온의 에너지 손실에 대해 [에너지 균형과 입자 균형식] [1] 404
26 플라즈마 사이즈 측정 방법 [플라즈마 분포 측정 및 산포 평가] [1] 401
25 CCP 장비 하부 전극 dc 펄스 전력 [1] 399
24 RF generator의 AMP 종류 질문입니다. [RF Power] [1] 396
23 RF ROD 연결부 부하로 인한 SHUNT, SERIES 열화 [2] file 385
22 반사파에 의한 micro arc 질문 [VHF 전력 인가] [2] 383
21 Druyvesteyn Distribution 372
20 DC Arc Plasma Torch 관련 문의 [1] 370
19 RF sputtering reflect power에 대해서 질문 남깁니다. 367
18 Lxcat dataset에 따른 Plasma discharge에 대한 질문입니다. [CX 데이터] [1] 351
17 플라즈마를 이용한 물속 세균 살균 질문드립니다. [Bactericidal 이해] [2] 348
16 ExB drift 식 유도 과정에서의 질문 [삼각함수의 위상각] [1] 344
15 내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. [유전체 상태 모니터링] [1] 343
14 corona model에 대한 질문입니다. [준중성과 저압플라즈마] [1] 342

Boards


XE Login