안녕하세요 HF PLASMA에 대해 공부하고 있는 직장인입니다.

 

다름이 아니라 대부분의 논문에서는 HF PLASMA DEPOSITION 시 POWER 증가에 따라 DEPOSITION RATE올라가는데,

 

실제 HF PLASMA 실험을 해보면, POWF 증가에 따라 DEPOSITION RATE가 내려가는 경향성을 보였습니다. (굴절율은 올라가는 경향성)

 

혹시 원리에 대해 설명해주실 수 있을까요?

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [332] 102636
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24658
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61358
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73441
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105747
33 DBD 방전 방식의 저온 플라즈마 관련해서 3가지 질문 드립니다. [DBD 방전과 DC breakdown] [1] 426
32 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [초고밀도 플라즈마] [1] file 424
31 Si 와 SiO의 선택적 식각 관련 문의입니다. 416
30 실리콘 수지 코팅 Tool에 Plasma 클리닝 시 코팅 제거 유/무 [대기압 플라즈마, highly collisional plasma] [1] 412
29 화장품 원료의 플라즈마 처리 문의 [환경 플라즈마] [1] file 411
28 Ni DC 스퍼터 관련 질문있습니다. [Base pressure 이해] [1] 405
27 챔버 내 전자&이온의 에너지 손실에 대해 [에너지 균형과 입자 균형식] [1] 402
26 플라즈마 사이즈 측정 방법 [플라즈마 분포 측정 및 산포 평가] [1] 401
25 RF generator의 AMP 종류 질문입니다. [RF Power] [1] 393
24 CCP 장비 하부 전극 dc 펄스 전력 [1] 387
23 반사파에 의한 micro arc 질문 [VHF 전력 인가] [2] 383
22 RF ROD 연결부 부하로 인한 SHUNT, SERIES 열화 [2] file 372
21 Druyvesteyn Distribution 369
20 RF sputtering reflect power에 대해서 질문 남깁니다. 365
19 DC Arc Plasma Torch 관련 문의 [1] 351
18 플라즈마를 이용한 물속 세균 살균 질문드립니다. [Bactericidal 이해] [2] 347
17 Lxcat dataset에 따른 Plasma discharge에 대한 질문입니다. [CX 데이터] [1] 347
16 내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. [유전체 상태 모니터링] [1] 342
15 ExB drift 식 유도 과정에서의 질문 [삼각함수의 위상각] [1] 338
14 Ion 입사각을 확인하는 방법 문의드립니다 [식각 플라즈마의 가장자리 균일도 제어] [1] 335

Boards


XE Login