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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 58465
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548 Vacuum Chamber(Etching) 내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계. [2] 348
547 플라즈마 PIC 질문드립니다. [1] 6463
546 [RIE] reactive, non-reactive ion의 역할 [1] 507
545 O2 Asher o-ring 문의드립니다. [1] 291
544 진공장치 챔버내 산소 또는 수분 제거 방법에 대해 [1] 646
543 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [1] 168
542 Dry etch 할때 센터와 사이드 etch rate [1] 661
541 플라즈마 입자 운동 원리(전자기장에서) [1] 444
540 CCP/ICP 의 플라즈마 밀도/균일도 에 대해서 질문이 있습니다. [3] 1316
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538 Matcher의 효율에 대한 내용에 대해서 궁금합니다. [1] 506
537 RF/LF에 따른 CVD 막질 UNIFORMITY [1] 581
536 H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련 [1] 163
535 Dechucking과 He gas의 관계 질문입니다. [1] 464
534 Matcher의 Load/Tune Position 거동에 관해 질문이 있습니다. [2] 887
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532 Plasma etch관련 질문이 드립니다. [1] 522
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530 쉬스(sheath)에서 전자와 이온의 감소 관련하여 질문 [1] 1005
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