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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64213
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610 LF Power에의한 Ion Bombardment [2] 875
609 PECVD와 RIE의 경계에 대해 [1] 910
608 전자 온도 구하기 [1] file 632
607 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [1] 220
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605 PP & PET 친수성과 접착성 유지 질문입니다. [1] 2877
604 잔류시간 Residence Time에 대해 [1] 471
603 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 답변 정말 감사합니다! 1555
602 ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 581
601 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 어떤 이유들이 있을까요..? [2] 603
600 CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응 [1] 515
599 Edge ring과 플라즈마 밀도 균일성 [1] 797
598 [Etching 공정 중 wafer를 고정하기 위해 사용되는 Ring관련] [3] 1197
597 매칭시 Shunt와 Series 값 [1] 892
596 RF Power와 균일도 연관성 질문드립니다. [2] 1613
595 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [1] file 165
594 CCP에서 전극에 쌓이는 막질에 의한 Capacitance 변화가 궁금합니다 [1] 1812
593 low pressure 영역에서 아킹이 더 쉽게 발생하는 이유에 관해 문의드립니댜. [1] 881
592 안녕하세요? 임피던스 매칭관련 질문드립니다. [1] 1163

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