Ashing O2 Asher o-ring 문의드립니다.

2020.07.30 19:43

미누85 조회 수:446

안녕하세요

재직중인 곳에서 O2 Asher 를 사용하고 있습니다.

약 3개월 마다 장비 유지보수 및 cleaning을 진행하고 있는데

그때마다 항상 O-ring이 갈라져 있고, 주변으로 흰색 가루(?) 같은 것들이 있습니다.

Ar를 사용하는 PVD 장비의 O-ring은 1년을 써도 멀쩡한데 O2 asher만 그러네요....

O-ring 재질은 바이톤 재질을 사용하고 있습니다.

O2 Asher에 적합한 O-ring이 무엇인지 알고 싶습니다.

그리고 발생된 흰가루나 갈라진 O-ring이 out gasing, particle을 유발하여 제품에 영향을 미칠까요?

작업 용도는 세라믹 기판에 코팅된 PR을 노광 및 현상 후 표면 Cleaning 용도로 쓰고 있습니다.


무더위 건강 유의하시고 좋은 하루 되시길 바랍니다.!!

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [85] 2299
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 12785
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 49614
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 61090
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 78494
578 타겟 임피던스 값과 균일도 문제 [1] 222
577 압력과 플라즈마 크기의 관계가 궁금합니다. [1] 12090
576 Plasma arcing 관련하여 문의드립니다. [1] 525
575 Load position 관련 질문 드립니다. [2] 1643
574 Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [1] 233
573 엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다. [1] 370
572 플라즈마 기술관련 문의 드립니다 [1] 6193
571 ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [2] 425
570 Interlock 화면.mag overtemp의 의미 336
569 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [1] 754
568 연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생 [1] 642
567 O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의 file 594
566 ESC Chuck 기능이 Wafer 위에서의 Chemical Bond 생성을 boosting 할 수 있는지 궁금합니다. [1] 4231
565 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] 422
564 압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문 [1] 1136
563 플라즈마볼 제작시 [1] file 1719
562 안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출) [1] file 1962
561 Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 [1] 356
560 Etcher Chamber Wall에 의도적으로 Polymer를 증착시키고 싶습니다. [2] 2859

Boards


XE Login