Chamber Impedance Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다.
2022.09.27 13:01
안녕하세요.
저는 RF Generator의 power amlifier를 연구하고 있는 학생입니다.
Load impedance를 50 ohm으로 설계를 했는데 matcher가 없을 때의 power amlifier의 성능을 확인하고자 합니다.
Chamber impedance의 범위가 어떻게 되는지 질문드립니다.
감사합니다.
댓글 0
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [269] | 76739 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20207 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57168 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68703 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92294 |
709 | Sheath와 Plasma Bulk에 걸리는 전압 관련 문의 [1] | 458 |
708 | 코로나 방전 처리 장비 문의드립니다. [1] | 468 |
707 | Tribo-Plasma 에 관해서 질문드리고 싶습니다. | 469 |
706 | AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 | 471 |
705 | magnetic substrate와 플라즈마 거동 [3] | 472 |
704 | plasma striation 관련 문의 [1] | 474 |
703 | (PAP)plasma absorption probe관련 질문 [1] | 484 |
702 | 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [1] | 484 |
701 | 플라즈마 세정처리한 PCB, Lead Frame 재활용 방법 [1] | 484 |
700 | 플라즈마 전원 공급장치에 대한 질문 [1] | 484 |
699 | 산소 플라즈마에 대한 질문입니다... | 487 |
698 | 수중방전에 대해 질문있습니다. [1] | 501 |
697 | remote plasma 를 이용한 SiO2 etching 질문드립니다. [1] | 505 |
696 | 안녕하세요. 자문을 구할 수 있을지 궁금합니다. [1] | 507 |
695 | PECVD Uniformity [1] | 509 |
694 | Plasma에 의한 분해 및 치환 반응(질문) [1] | 514 |
693 | 해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안 [1] | 516 |
692 | Plasma 표면개질에 대해 질문드립니다. [1] | 521 |
691 | self bias [1] | 529 |
690 | 전자기장 및 유체 시뮬레이션 관련 [1] | 543 |