Ion/Electron Temperature 플라즈마내의 전자 속도
2009.10.16 04:52
플라즈마 장비 내의 bias를 100W 정도 주었을 때, 전자의 속도를 알 수 있을까요?
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [271] | 76794 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20230 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57178 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68723 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92502 |
711 | Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [1] | 456 |
710 | Sheath와 Plasma Bulk에 걸리는 전압 관련 문의 [1] | 468 |
709 | Tribo-Plasma 에 관해서 질문드리고 싶습니다. | 469 |
708 | 코로나 방전 처리 장비 문의드립니다. [1] | 469 |
707 | magnetic substrate와 플라즈마 거동 [3] | 472 |
706 | 안녕하세요, RPS나 DEPOSITION간에 발생하는 ELECTRON TEMPERATURE가 궁금합니다. [1] | 475 |
705 | AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 | 476 |
704 | plasma striation 관련 문의 [1] | 476 |
703 | (PAP)plasma absorption probe관련 질문 [1] | 484 |
702 | 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [1] | 485 |
701 | 플라즈마 세정처리한 PCB, Lead Frame 재활용 방법 [1] | 485 |
700 | 산소 플라즈마에 대한 질문입니다... | 489 |
699 | 플라즈마 전원 공급장치에 대한 질문 [1] | 497 |
698 | 수중방전에 대해 질문있습니다. [1] | 502 |
697 | 안녕하세요. 자문을 구할 수 있을지 궁금합니다. [1] | 509 |
696 | Plasma에 의한 분해 및 치환 반응(질문) [1] | 514 |
695 | 해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안 [1] | 516 |
694 | PECVD Uniformity [1] | 524 |
693 | self bias [1] | 533 |
692 | Plasma 표면개질에 대해 질문드립니다. [1] | 536 |
- 하지만 전자나 이온은 전기장에서 가속을 받아서 에너지를 높일 수 있습니다. 특히 시편 앞에서, 혹은 전극 앞에 형성되는 쉬스내에서 시편(전극)에 인가된 바이어스 전압에 의해 쉽게 가속되며 이때 운동에너지는 플라즈마 자체가 갖는 전위 (공간전위)에서 바이어스 전압을 뺀값으로 결정되고, 대부분의 바이어스 전압은 음으로 인가되어, 여기서의 전위차는 양의 값을 갖게되며, 대부분 이온의 운동에너지 값이 됩니다.
- 바이어스 전력의 크기에 따라서 바이어스 전압은 비례하나 정확한 값은 장치와 가스종류, 바이어스 인가 주파수 등에 따라 변하는 값이니 시편 전위를 측정하여 위의 관계식을 이용해서 이온이 시편에 입사될 때의 에너지를 결정할 수 있습니다. (여기서 바이어스 전압은 자기전압강하, self bias라 하며 Q/A를 찾아보면 설명되어 있습니다.)