30 kW급 공동형 (양 극 모두 구리) 플라즈마 토치를 운전하는데, 음극에서 구리 소모가 상당히 심하네요. 원래 음압에서 운전하도록 설계된 토치인데, 저희는 약간의 양압 상태에서 운전하고 있습니다. 0.2 bar정도...

플라즈마 소스는 알곤가스를 사용합니다. 냉각은 13도로 들어가서 15도 정도로 나오니... 잘 되는 것 같은데.... 구리가 많이 나오네요.

이런 경우는 어떤 대처가 필요할 까요? 궁금합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [271] 76748
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20217
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57169
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68707
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92306
79 유도결합 플라즈마 소스 질문!!!? [2] 1900
78 가입인사드립니다. [1] 1880
77 N2 Blowing Ionizer 사용 시 궁금점 질문 드립니다. [1] 1812
76 ICP와 CCP에서의 Breakendown voltage [1] 1742
75 안녕하세요 교수님. ICP관련하여 문의드립니다. [1] 1671
74 Ar/O2 ICP 플라즈마 관하여 [1] 1661
73 CCP에서 전자밀도증가 -> 임피던스 감소 과정 질문있습니다. [3] 1609
72 ICP reflecot power 관련 질문드립니다. [1] 1603
71 plasma 형성 관계 [1] 1518
70 연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생 [1] 1489
69 PECVD와 RIE의 경계에 대해 [1] 1454
68 N2 / N2O Gas 사용시 Plamsa 차이점 [1] 1445
67 ICP lower power 와 RF bias [1] 1439
66 dbd-플라즈마 질문있어욤!!!!! [1] file 1402
65 수방전 플라즈마 살균 관련...문의드립니다. [1] 1395
64 Plasma arcing 관련하여 문의드립니다. [1] 1356
63 DBDs 액츄에이터에 관한 질문입니다. [3] 1330
62 ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다!! [1] 1325
61 Wafer Warpage에 따른 CCP Type Chamber 내부 Impedance [1] 1298
60 ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다. [2] 1273

Boards


XE Login