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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 61093
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 78841
63 HF/F2와 silica 글래스 에칭율 자료가 있을까요? 2282
62 HF+LF 사용 중. HF Power 증가 시 Deposition Rate 감소 현상 문의 [1] 2183
61 ICP-RIE process 및 plasma에 대해 질문있습니다. [2] 1979
60 RIE에 관한 질문이 있습니다. [1] 1910
59 Plasma etcher particle 원인 [1] 1859
58 sputtering gas에 따른 플라즈마 데미지 [1] 1832
57 산소양이온의 금속 전극 충돌 현상 [1] 1818
56 Etch공정(PE mode) Vpp 변동관련. [1] 1664
55 플라즈마 깜빡임에 대해 질문이 있습니다. [1] 1425
54 터보펌프 에러관련 [1] 1412
53 RF FREUENCY 와 D/R 과의 상관 관계에 관한 질문입니다. [1] 1394
52 PECVD Precursor 별 Arcing 원인 [1] 1350
51 Gas flow rate에 따른 etch rate의 변화가 궁금합니다. [1] 1347
50 식각 시 나타나는 micro-trench 문제 [1] 1291
49 etching에 관한 질문입니다. [1] 1261
48 DRY Etcher Alram : He Flow 관점 문의 드립니다. [1] 1185
47 poly식각을 위한 조언 부탁드립니다. file 1166
46 wafer 두께가 증가함에 따라 Er이 급격하게 떨어지는 현상 [1] 1129
45 Ar plasma power/time [1] 1125
44 Dry etch 할때 센터와 사이드 etch rate [1] 1017

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