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공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[160]
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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626 |
CCP 구조가 ICP 구조보다 Arcing 발생에 더 취약한가요?
[3] | 2776 |
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625 |
ESC Dechuck과 관련하여 궁금한점이 있어 문의를 드립니다.
[1] | 13469 |
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624 |
CVD 막질의 성질에 대해 질문드립니다.
[1] | 888 |
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623 |
전자 온도에 대한 질문이 있습니다.
[1] | 821 |
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622 |
RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때
[1] | 600 |
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621 |
CCP plasma에서 gap과 Pressure간의 상관관계
[1] | 1718 |
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620 |
데포 중 RF VDC DROP 현상
[1] | 1311 |
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619 |
OES 분석 관련해서 질문드립니다.
[1] | 887 |
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618 |
CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다.
[1] | 493 |
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617 |
anode sheath 질문드립니다.
[1] | 608 |
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616 |
안녕하세요. Plasma etch rate에 관하여 질문이 있습니다.
[1] | 536 |
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615 |
플라즈마를 통한 정전기 제거관련.
[1] | 486 |
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614 |
RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다.
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613 |
CVD (CCP) 공정의 Chamber seasoning과 플라즈마 밀도
[1] | 1239 |
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612 |
라디컬의 재결합 방지
[1] | 528 |
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611 |
LF Power에의한 Ion Bombardment
[2] | 1099 |
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610 |
PECVD와 RIE의 경계에 대해
[1] | 1043 |
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609 |
전자 온도 구하기
[1]  | 729 |
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608 |
공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다.
[1] | 246 |
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607 |
CVD 공정에서의 self bias
[1] | 1725 |
