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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68735
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102 터보펌프 에러관련 [1] 1767
101 부가적인 스퍼터링 관련 질문 드립니다. [1] 1396
100 산소양이온의 금속 전극 충돌 현상 [1] 2590
99 [CVD] 막 증착 관련 질문입니다. [4] 1301
98 magnetic substrate와 플라즈마 거동 [3] 472
97 Pecvd 장비 공정 질문 [1] 1664
96 DRY Etcher Alram : He Flow 관점 문의 드립니다. [1] 2338
95 챔버 임피던스 변화에 따른 공정변화 [1] 1185
94 RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해 보고 싶습니다. [1] 848
93 etching에 관한 질문입니다. [1] 2267
92 DRAM과 NAND에칭 공정의 차이 [1] 5465
91 Depo시 RF 초기 Reflect 관련하여 문의드립니다. [1] 1432
90 플라즈마 깜빡임에 대해 질문이 있습니다. [1] 2315
89 Etch공정(PE mode) Vpp 변동관련. [1] 2332
88 플라즈마 색 관찰 [1] 4275
87 PR wafer seasoning [1] 2704
86 wafer 두께가 증가함에 따라 Er이 급격하게 떨어지는 현상 [1] 1802
85 ICP 후 변색 질문 728
84 Plasma etcher particle 원인 [1] 2981
83 PDP 방전갭에 따른 휘도에 관해 질문드려요 [1] 423

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