Sheath CCP 에서 Area effect(면적) ?
2004.06.21 15:49
질문 ::
안녕하세요
며칠 전에 교수님에게 교육을 받고 궁금한 것이 있어 멜을 보냅니다.
self_bias 를 만들기 위해서 blocking capacitor 와 전극의 면적크기를 달리하는 데, 면적의 크기를 달리 하면 왜 Self-bais 가 향상되죠?
답변 ::
Self bias에 관한 이전의 설명을 참조하시기 바랍니다.
단, blocking capacitor와 전극의 면적이 크기를 달리한다고 생각하였는데 blocking capacitor의 역할은
반응기의 electrode와 연결된 power supply에 높은 직류 전류가 흐르는 것을 막기위한 안전장치로써
electrode와 직렬 연결되어 있는 capacitor를 의미하며, 이 capacitor는 또한 DC 전류를 block함으로써
capacitor와 연결되어 있는 electrode의 전위를 음으로 shift시키게 됩니다 (self bias). 또한 electrode 의 전극의 크기가
bias 전위의 크기에 영향을 주는 이유는 이 전극이 플라즈마와 직렬로 연결되어 있음으로 플라즈마와 전극 사이에
형성되어 있는 sheath 영역의 capacitance의 크기가 변하기 때문입니다. 일반적으로 면적이 넓어지면 capacitance는 커지나
전류의 크기가 같아하고 (직렬회로) 따라서 같은 시간동안 하전되는 전하량은 전극의 크기에 상관없이 같아야 할 것입니다.
따라서 C가 큰 곳에는 voltage drop이 작아야 하며 C가 작은 곳에서는 V가 크게 되고 이 C는 전극의 크기, V는 sheath potential
즉 플라즈마에서 전극으로 전위가 강하되는 값을 나타냅니다. 따라서 크기가 작은 전극 앞에서의 전위변화가 매우
크게 나타나게 되는 것 입니다.
댓글 0
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [271] | 76778 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20224 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57178 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68721 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92392 |
711 | 안녕하세요 DBD 플라즈마 소독 관련질문입니다. [1] | 450 |
710 | Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [1] | 456 |
709 | Sheath와 Plasma Bulk에 걸리는 전압 관련 문의 [1] | 464 |
708 | Tribo-Plasma 에 관해서 질문드리고 싶습니다. | 469 |
707 | 코로나 방전 처리 장비 문의드립니다. [1] | 469 |
706 | magnetic substrate와 플라즈마 거동 [3] | 472 |
705 | AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 | 474 |
704 | plasma striation 관련 문의 [1] | 476 |
703 | (PAP)plasma absorption probe관련 질문 [1] | 484 |
702 | 플라즈마 세정처리한 PCB, Lead Frame 재활용 방법 [1] | 484 |
701 | 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [1] | 485 |
700 | 산소 플라즈마에 대한 질문입니다... | 489 |
699 | 플라즈마 전원 공급장치에 대한 질문 [1] | 490 |
698 | 수중방전에 대해 질문있습니다. [1] | 502 |
697 | 안녕하세요. 자문을 구할 수 있을지 궁금합니다. [1] | 509 |
696 | Plasma에 의한 분해 및 치환 반응(질문) [1] | 514 |
695 | 해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안 [1] | 516 |
694 | PECVD Uniformity [1] | 521 |
693 | self bias [1] | 531 |
692 | Plasma 표면개질에 대해 질문드립니다. [1] | 531 |