송박사님은 국가핵융합연구원의 플라즈마 기술연구소에 계십니다. 발표 논문등에서 이메일 주소등의 검색이 가능할 것입니다. 개인 정보는 공개해 드리기가 힘든 점 양해 바랍니다. 

광정진단으로 광학센서를 사용하는 경우, 타킷 공정의 이해가 선행되고 타킷 공정에서 주요 기여 인자를 플라즈마 내 화학 반응 중에서 원자와 분자의 역할을 구분해서 타킷 공정에 기여 종을 선택하는 것으로 시작합니다. 주요 기여 종 중에서 광학 신호의 성질과 센서의 특성이 매칭이 되어야 진단 신호로서 기능을 하게 됩니다. 이는 현상학 기반의 진단 기술이라 하며, 이 과정을 생략하고 데이터로 부터 기여 신호를 찾는 일은 데이터 기반의 공정진단 기술에 해당합니다. 최근에는 이 둘을 결합한 데이터+플라즈마광학 모델 기반의 진단기술이

개발되고 있습니다.

아울러 먼저 사용하는 oes 를 Calibration 하시면서 이참에서 사용하는 센서 스팩에 대한 이해를 하시면 좋습니다. 여러 경로 및 OES 센서 회사 홈페이지 등에서 자료를 찾으실 수 있을 것입니다. 일단 센서 스팩을 아시고 진단을 개시하는 수순을 추천합니다.