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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64229
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73 ICP-RIE process 및 plasma에 대해 질문있습니다. [2] 2672
72 HF/F2와 silica 글래스 에칭율 자료가 있을까요? 2482
71 PR wafer seasoning [1] 2453
70 산소양이온의 금속 전극 충돌 현상 [1] 2443
69 HF+LF 사용 중. HF Power 증가 시 Deposition Rate 감소 현상 문의 [1] 2399
68 Plasma etcher particle 원인 [1] 2163
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66 sputtering gas에 따른 플라즈마 데미지 [1] 1964
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61 플라즈마 깜빡임에 대해 질문이 있습니다. [1] 1624
60 etching에 관한 질문입니다. [1] 1580
59 DRY Etcher Alram : He Flow 관점 문의 드립니다. [1] 1517
58 터보펌프 에러관련 [1] 1505
57 RF FREUENCY 와 D/R 과의 상관 관계에 관한 질문입니다. [1] 1495
56 식각 시 나타나는 micro-trench 문제 [1] 1462
55 Dry etch 할때 센터와 사이드 etch rate [1] 1435
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