번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [46] 859
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 719
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 49320
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 58465
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 72454
528 CVD품질과 RF Delivery power 관계 질문 [1] 641
527 KM 모델의 해석에 관한 질문 [1] 173
526 remote plasma 데미지 질문 [1] 4188
525 RF generator 관련 문의드립니다 [3] 864
524 Wafer Warpage에 따른 CCP Type Chamber 내부 Impedance [1] 414
523 안녕하세요. O2 plasma etching에 대해 궁금한 것이 있습니다. [1] 1579
522 산소 플라즈마 처리 관하여 질문드립니다. [1] 500
521 플라즈마의 직진성에 관해 질문드립니다. [2] 850
520 Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문 [3] 1217
519 ECR 플라즈마에 대해서 질문 드립니다. [1] 557
518 Plasma Dechuck Process가 궁금합니다. 15295
517 HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의 [1] 540
516 Vpp, Vdc 측정관련 문의 [1] 1622
515 간단한 질문 몇개드립니다. [1] 283
514 matcher에서 load,tune의 역할이 궁금합니다. [1] 1465
513 Si Wafer에 Plasma를 처리했을때 정전기 발생 [1] 326
512 Hollow Cathode glow Discharge 실험 관련해서 여쭤보고싶습니다. [1] file 261
511 에쳐장비HF/LF 그라운드 관련 [1] 6232
510 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] 424
509 ICP-RIE process 및 plasma에 대해 질문있습니다. [2] 1293

Boards


XE Login