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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 56151
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490 플라즈마 관련 기초지식 [1] 974
489 매쳐에서의 load, tune에 대하여 좀 가르쳐 주세요~ [1] 1879
488 [질문] Plasma 장비에 대한 Monitoring 질문 [2] 567
487 Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [1] 317
486 Matcher의 Load, Tune 영향을 미치는 요소가 궁금합니다. [2] 4304
485 EEDF, IEDF, Cross section관련 질문 [1] 539
484 ICP, CCP 그리고 Ion Implantation 공정 관련 질문 드립니다. [1] 561
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482 HF/F2와 silica 글래스 에칭율 자료가 있을까요? 1339
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478 Plasma에 의한 분해 및 치환 반응(질문) [1] 242
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476 리모트 플라스마 소스 AK 부품 수출 관련 질문 입니다 반도체 장비 부풉ㅁ 645
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