Deposition 질문있습니다 교수님
2020.05.06 15:46
안녕하세요. 이제 막 반도체 수업을 듣기시작한 학생입니다. 한 질문에 궁금증이 생겨 질문 남기게 되었습니다.
4인치 웨이퍼 기준 100nm 두께로 구리 등 금속 박막을 대량으로 하려면 어떻게 해야될까 인 부분이었습니다.
이때 제 생각으로는 CVD공정이 가장 적합한것이 아닌가? 라고 생각하면서도 각 공정마다 장단점이 있어 헷갈립니다.
PVD의 경우 증착속도가 느리고, ALD의 경우 낮은생산 성 등..
어떠한 공정이 가장 적합한 공정이 될 수 있는지 궁금합니다 감사합니다
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [269] | 76733 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20204 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57168 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68701 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92280 |
689 | ccp-icp | 21483 |
688 | 47th American Vacuum Society International Symposium 2000 | 21425 |
687 | CCP 에서 Area effect(면적) ? | 21385 |
686 | Breakdown에 대해 | 21366 |
685 | 플라즈마 실험 | 21344 |
684 | 플라즈마 측정기 [1] | 21332 |
683 | 저온 플라즈마에서 이온, 전자, 중성자 온도의 비평형이 생기는 이유에 대해서... [1] | 21330 |
682 | Xe 기체를 사용한 플라즈마 응용 | 21318 |
681 | ICP 플라즈마 매칭 문의 [2] | 21192 |
680 | 전자파 누설에 관해서 질문드립니다. [1] | 21110 |
679 | 플라즈마란? | 21057 |
678 | 대기압플라즈마 진단 | 21025 |
677 | RF plasma에 대해서 질문드립니다. [2] | 20963 |
676 | UBM 스퍼터링 장비로... [1] | 20906 |
675 | plasma cleanning에 관하여.... | 20834 |
674 | IEDF EQP에 대한 답변 | 20807 |
673 | 이온주입량에 대한 문의 | 20731 |
672 | 교재구입 | 20725 |
671 | Three body collision process | 20649 |
670 | Lissajous figure에 대하여.. | 20621 |
박막 관련해서는 군산대학교 주정훈교수님께 문의드려 보세요. 속시원한 답을 구할 수 있을 것입니다.