Others O2, N2, Ar 플라즈마에 대한 질문입니다.

2017.02.12 00:26

반도체지현 조회 수:6205

안녕하세요 세종대학교에 재학중인 학부생 김지현 입니다.

저는 방학동안에 연구실에서 실험을 배우는 중입니다. 저희 연구실은 그래핀에 대해 연구하는 곳입니다.

제가 photo lithography를 배우는 과정중에  산소 플라즈마 처리를 사용하는데, 플라즈마가 무엇인지 궁금하여 공부중입니다.

plasma etching에 대해 찾아보던중에 사용하는 기체들이 용도에 따라서 다른데 그 차이점들을 알고 싶습니다,

그래핀을 O2 플라즈마에서 처리하는데 왜 O2를 사용하는지 궁금합니다. 즉 O2플라즈마의 특성에 대해 궁금합니다. 

그리고 질소플라즈마와 아르곤 플라즈마의 특성과 차이점이 무엇인지 궁금합니다. 

질문이 다소 복잡해서 다시 정리하자면 플라즈마 에칭 공정을 할때 용도에 따라 다른 기체들을 사용하는데, 어떠한 특성때문에 

다른지 궁금합니다. 


감사합니다. 

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [275] 76843
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20252
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57192
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68744
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92602
177 CVD 막질의 성질에 대해 질문드립니다. [1] 1343
176 low pressure 영역에서 아킹이 더 쉽게 발생하는 이유에 관해 문의드립니댜. [1] 1361
175 Plasma Cleaning 관련 문의 [1] 1362
174 플라즈마 내에서의 현상 [1] 1393
173 플라즈마 관련 교육 [1] 1413
172 O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다. [1] 1428
171 PECVD 공정 진행중 chamber wall 부분에서 보이는 plasma instability 관련 질문 드립니다. [1] 1445
170 강의를 들을 수 없는건가요? [2] 1451
169 플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다. [1] 1466
168 glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다. [2] 1512
167 데포 중 RF VDC DROP 현상 [1] 1535
166 O2 플라즈마 클리닝 관련 질문 [1] 1568
165 standing wave effect에 대한 질문이 있습니다. [1] 1635
164 RF 전압과 압력의 영향? [1] 1685
163 다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련 [1] 1692
162 CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다. [3] 1700
161 Edge ring과 플라즈마 밀도 균일성 [1] 1768
160 플라즈마 입자 운동 원리(전자기장에서) [1] 1824
159 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 답변 정말 감사합니다! 1863
158 플라즈마 실험을 하고 싶은 한 고등학생입니다.... [1] 1913
쓰기
태그

Boards

XE Login