안녕하세요. 반도체 관련 회사에 근무하는 엔지니어 입니다.


He Plasma 를 안정적으로 띄우려고 하는데 몇 가지 궁금한 점이 생겨 질문 드립니다.


1) 챔버에 He 외에 다른 gas는 넣지 않고 RF power를 인가했는데 plasma의 색이 아래와 같은 색을 내뿜었습니다.

https://i.ytimg.com/vi/5XPwfbeogi0/hqdefault.jpg

하지만 인터넷에서 찾아본 He plasma의 색은 이 색 외에도 붉은색과 연한 주황색도 있었습니다. 그리고 제가 공장 견학중에 보았던 He plasma의 색은 연한 주황색에 가까웠었습니다.(그때 역시 챔버 내에는 He gas만 있었습니다.)

이상하게 여겨 생각해봤는데, 전자가 여기된 후 n=2인 전자궤도에 떨어질때 빛이 방출되는 것이니 전자가 더 큰 에너지를 받거나 더 적은 에너지를 받아 여기되었다면 다른 색이 나올 수도 있을거라 생각했습니다.

하지만 그렇다면 Gas별로 고유한 plasma색이 있다고 알고있던 사실과 충돌하여 어느 것이 맞는지 궁금합니다.


2) He외에 N2도 같이 넣어 plasma를 띄우니 아래와 같은 색이 나타났습니다.

https://edu.glogster.com/library/proxy?url=https%3A%2F%2Fupload.wikimedia.org%2Fwikipedia%2Fcommons%2F1%2F1f%2FHeTube.jpg

기존에 제가 공장에서 봤던 He plasma 색도 이 색이었는데 왜 N2가 들어가고나서 이런 색이 나오는지 궁금합니다.


3) 질소 플라즈마의 경우에도 알아보니 다양한 색이 나오던데 혹시 DC 인지 RF인지 RF라면 주파수에 따라서도 색이 바뀔 수 있는건가요?

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [283] 77261
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20473
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57383
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68910
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92960
178 교수님 질문이 있습니다. [1] 779
177 wafer bias [1] 1162
176 Group Delay 문의드립니다. [1] 1161
175 N2 Plasma 상태에 대해서 질문 드립니다. [1] 2333
174 ICP plasma에서 RF bias에 대한 문의가 있습니다 [2] 4055
173 VPS 공정에서 압력변수관련 질문입니다. [1] 435
172 쉬쓰 천이지역에 관한 질문입니다. [1] 1175
171 상압플라즈마 제품 원리 질문드립니다 [2] 967
170 plasma etching을 관련 문의드립니다. [1] 2445
169 프리쉬스에 관한 질문입니다. [1] 606
168 플라즈마 충격파 질문 [1] 816
167 O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] 971
166 플라즈마 코팅 [1] 1047
165 플라즈마용사코팅에서의 carrier gas [1] 850
164 RF MATCHING 관련 교재 추천 부탁드립니다 [1] 865
163 RF tune position 과 Vrms의 관계가 궁금합니다 [1] 987
162 Frequnecy에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [1] 576
161 염소발생 전기분해 시 스파크 발생에 관해 질문드립니다. [1] file 397
160 플라즈마 세라믹코팅후 붉은 이유는? 2350
» Gas 별 Plasma 색 관련 질문입니다. [1] 3553

Boards


XE Login