Sheath 쉬쓰 천이지역에 관한 질문입니다.

2019.04.11 13:18

PJH 조회 수:1192

안녕하세요. 플라즈마 물리를 공부하고 있는 학생입니다.

쉬쓰천이지역쪽을 살펴보는데 이해가 안가는 부분이 있어서 질문올립니다.

 쉬쓰천이지역에서 이온의 속도를 구할 때 왜 전자의 온도를 적용하는지 모르겠습니다.

제가 사용하는 교재에는 맥스웰볼츠만식에서의 속도는 이온의 온도에 의존하는 반면에 이 쉬쓰에 들어오는 이온의 속도는 이온의 온도가 아닌 전자의 온도에 의존하므로 속도가 빨라진다. 라고만 쓰여있는 그 이유에 대해서 언급이 안되어 있습니다.

왜 그런지 알 수 있을까요?

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [303] 78037
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20847
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57737
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69253
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 93631
179 Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [1] 790
178 교수님 질문이 있습니다. [1] 808
177 wafer bias [1] 1196
176 Group Delay 문의드립니다. [1] 1187
175 N2 Plasma 상태에 대해서 질문 드립니다. [1] 2427
174 ICP plasma에서 RF bias에 대한 문의가 있습니다 [2] 4123
173 VPS 공정에서 압력변수관련 질문입니다. [1] 446
» 쉬쓰 천이지역에 관한 질문입니다. [1] 1192
171 상압플라즈마 제품 원리 질문드립니다 [2] 989
170 plasma etching을 관련 문의드립니다. [1] 2467
169 프리쉬스에 관한 질문입니다. [1] 625
168 플라즈마 충격파 질문 [1] 835
167 O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] 995
166 플라즈마 코팅 [1] 1059
165 플라즈마용사코팅에서의 carrier gas [1] 886
164 RF MATCHING 관련 교재 추천 부탁드립니다 [1] 892
163 RF tune position 과 Vrms의 관계가 궁금합니다 [1] 1016
162 Frequnecy에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [1] 597
161 염소발생 전기분해 시 스파크 발생에 관해 질문드립니다. [1] file 411
160 플라즈마 세라믹코팅후 붉은 이유는? 2373

Boards


XE Login