Others VPS 공정에서 압력변수관련 질문입니다.
2019.05.15 08:55
안녕하세요. 제가 최근에 플라즈마 코팅관련 회사에 입사하여 현재 플라즈마 공부중 입니다.
현재 VPS장비로 테스트 중인데 0~1 torr 보다 30~50 torr 일 떄 플라즈마제트의 모습이 훨씬 안정적인 이유를 어떻게 설명할 수 있을까요?
0~1 torr 일 때는 플라즈마의 형상이 지나치게 두껍고 불안정적인 모습입니다. 반면 챔버 내부의 압력을 증가시켰을 때는 훨씬 안정적이고
얇은 플라즈마의 형태를 띄고 있습니다. 이를 residence time과 관련해서 이해를 해야할까요?
아직 많은 논문들을 찾진 못했지만 대부분의 논문에서도 30~300 torr로 실험한 조건들이 많아 보였습니다.
또 다른 한가지 질문은 VPS 공정에서 분위기가스 즉 챔버내를 아르곤같은 불활성기체로 채워주는 이유는 단순하게 산화나 질화등을 막기
위함인가요? 분위기가스의 역할을 어떻게 정의하면 될까요?
기초적인 질문 죄송합니다. 답변 주시면 감사하겠습니다!
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [303] | 78047 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20850 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57738 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 69253 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 93636 |
179 | Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [1] | 790 |
178 | 교수님 질문이 있습니다. [1] | 808 |
177 | wafer bias [1] | 1196 |
176 | Group Delay 문의드립니다. [1] | 1187 |
175 | N2 Plasma 상태에 대해서 질문 드립니다. [1] | 2428 |
174 | ICP plasma에서 RF bias에 대한 문의가 있습니다 [2] | 4124 |
» | VPS 공정에서 압력변수관련 질문입니다. [1] | 446 |
172 | 쉬쓰 천이지역에 관한 질문입니다. [1] | 1192 |
171 | 상압플라즈마 제품 원리 질문드립니다 [2] | 989 |
170 | plasma etching을 관련 문의드립니다. [1] | 2467 |
169 | 프리쉬스에 관한 질문입니다. [1] | 625 |
168 | 플라즈마 충격파 질문 [1] | 835 |
167 | O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] | 995 |
166 | 플라즈마 코팅 [1] | 1059 |
165 | 플라즈마용사코팅에서의 carrier gas [1] | 886 |
164 | RF MATCHING 관련 교재 추천 부탁드립니다 [1] | 892 |
163 | RF tune position 과 Vrms의 관계가 궁금합니다 [1] | 1016 |
162 | Frequnecy에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [1] | 597 |
161 | 염소발생 전기분해 시 스파크 발생에 관해 질문드립니다. [1] | 411 |
160 | 플라즈마 세라믹코팅후 붉은 이유는? | 2373 |
VPS 문의는 전북대학의 서준호 교수님께 여쭈어 보시면 속시원한 답을 구할 수 있으실 것 같습니다.