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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68751
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177 CVD 막질의 성질에 대해 질문드립니다. [1] 1345
176 low pressure 영역에서 아킹이 더 쉽게 발생하는 이유에 관해 문의드립니댜. [1] 1362
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169 플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다. [1] 1466
168 glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다. [2] 1521
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166 O2 플라즈마 클리닝 관련 질문 [1] 1568
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164 RF 전압과 압력의 영향? [1] 1692
163 다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련 [1] 1702
162 CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다. [3] 1708
161 Edge ring과 플라즈마 밀도 균일성 [1] 1771
160 플라즈마 입자 운동 원리(전자기장에서) [1] 1845
159 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 답변 정말 감사합니다! 1865
158 쉬스(sheath)에서 전자와 이온의 감소 관련하여 질문 [1] 1927

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