Others O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다.

2017.02.22 22:41

opqr908 조회 수:1423

안녕하세요 서울대학교 박사과정 학생입니다. 

실험을 설계하는중 플라즈마 공정에 관해서 모르는 점이 많아서 여쭤봅니다. 

O2 Plasma etch공정에서 저희가 sample이 받는 Total 플라즈마 에너지 혹은 etch rate을 일정하게 
유지하면서 Power를 바꿔보고싶습니다. 가스 flow rate 와 가스 종류, 시간은 바꾸지 않고 power와 pressure만 컨트롤 해서 유지가 가능할까요? 이렇게 할 경우에 Power가 바뀔시 Pressure가 어떤식으로 바껴야 Plasma energy를 가능한 일정하게 유지할 수있는지를 알수있는 식이나 상관관계가 있나요? 
예를 들어서,  power: 50W, 에서 100W로 두배 올릴때 압력은 어떤 변화를 가지게 되나요?
정확한 수치를 계산하는 목적이 아닌 대략적으로라도 실험을 일관성 있게 진행하려는 목적으로 질문을 드립니다. 
답변 부탁드리겠습니다. 


감사합니다. 
이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [269] 76738
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20206
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57168
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68702
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92286
173 플라즈마 관련 교육 [1] 1408
» O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다. [1] 1423
171 PECVD 공정 진행중 chamber wall 부분에서 보이는 plasma instability 관련 질문 드립니다. [1] 1442
170 강의를 들을 수 없는건가요? [2] 1445
169 플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다. [1] 1463
168 glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다. [2] 1507
167 데포 중 RF VDC DROP 현상 [1] 1533
166 O2 플라즈마 클리닝 관련 질문 [1] 1562
165 standing wave effect에 대한 질문이 있습니다. [1] 1609
164 RF 전압과 압력의 영향? [1] 1677
163 다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련 [1] 1686
162 CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다. [3] 1689
161 Edge ring과 플라즈마 밀도 균일성 [1] 1751
160 플라즈마 입자 운동 원리(전자기장에서) [1] 1795
159 플라즈마 실험을 하고 싶은 한 고등학생입니다.... [1] 1843
158 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 답변 정말 감사합니다! 1861
157 쉬스(sheath)에서 전자와 이온의 감소 관련하여 질문 [1] 1908
156 플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!? [1] 1955
155 ICP power와 ion energy사이의 관계에 대해서 문의드립니다. [2] 1973
154 CVD (CCP) 공정의 Chamber seasoning과 플라즈마 밀도 [1] 1989
쓰기
태그

Boards

XE Login