Matcher Plasma Arching

2022.09.13 19:17

플라즈마어렵다1 조회 수:1062

안녕하십니까!

경기도 모 소재대학에 신소재공학과 재학중인 학생인데 

신소재공학과는 전자기학을 배우지 않아서 어려움을 겪고있습니다.

1. 아킹 현상에 대해 공부중인데 임피던스 매칭? 이런 개념들이 너무 어렵고 플라즈마에 대해 이해도를 높이기 위해 전자기학 책 (원서도 좋습니다) 추천해주실만한 서적있으신가요?

 

답변주시면 감사하겠습니다. 

 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [275] 76816
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20246
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57186
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68739
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92575
695 실리콘 수지 코팅 Tool에 Plasma 클리닝 시 코팅 제거 유/무 [1] 172
694 RF 전압인가 시 LF와 HF 에서의 Sheath 비교 [1] 883
693 기판표면 번개모양 불량발생 [1] 613
692 진공수준에 따른 RF plasma 영향 관련 질문 [1] file 614
691 OLED에서 SF6와 CF4를 사용하는 이유를 알고 싶습니다. [1] 28758
690 plasma modeling 관련 질문 [1] 387
689 플라즈마 진단 OES 관련 질문 [1] 728
688 O2 플라즈마 사용에 대한 질문을 드립니다. 741
687 플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다 [1] 1135
686 Ta deposition시 DC Source Sputtreing 2362
685 전자밀도 크기에 대하여 질문드립니다. (Ar, O2, N2 가스) [1] 1086
684 OES를 이용한 Gas Species 정량적 분석 방법 [1] 770
683 Sticking coefficient 관련 질문입니다. [1] 989
682 RF Sputtering Target Issue [2] file 606
681 OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [1] 611
680 PECVD 증착시 온도, 기판의 종류의 영향에 대해서 질문드립니다! [1] 1881
679 plasma striation 관련 문의 [1] file 480
678 Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. 551
677 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] 628
676 Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time 거동 [1] file 553

Boards


XE Login