ICP 안녕하세요 교수님. ICP관련하여 문의드립니다.
2021.03.02 11:15
안녕하세요. 교수님.
일전에 ICP에서 발생되는 self bias로 쿼츠가 식각될 수 있는지에 대해 문의드렸습니다.
그 때의 답변 감사드립니다.
이번에 여쭙고 싶은것은 그때와 이어지는 내용인데요.
저희의 실험(다층박막) 중 SiO2가 아닌 다른 물질을 증착 중 식각된 쿼츠에서 SiO2가 기판으로 날아와 일부 증착되는 것으로 예상이 됩니다.
그래서 여러가지 특성에 일부 영향을 주는데
쿼츠 쪽에서 발생되는 시각을 줄이기 위해 self bias를 줄일 방안을 생각해보았습니다.
그 중에 ICP영역(코일 전면부)에 영향을 주지 않는 선에서 anode를 장착하여 self bias를 만드는 전자들을 빼내어주는 방안을 생각해보았는데
이 경우 플라즈마 형성에는 문제가 없는지와 이 방법으로 정말 self bias를 줄여 식각현상을 줄이거나 없앨 수 있는지가 궁금합니다.
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해당 질문은 Faraday shield 라는 개념으로 과거에 많은 연구가 있었습니다. 특히 E 모드 영향을 줄이기 위한 방편으로 제안된 것입니다. Faraday shield 란 개념은 안테나와 유전체 사이에 방사형 open 영역을 가지는 ground 도체를 삽입해서 안테나에서 형성되는 전기장을 줄이는 방법입니다. 혹은 안테나를 유전체에서 떨어뜨려 전기장 감쇄 효과를 유도할 수도 있겠습니다. 다만 breakdown이 어려워지는 문제와 안정적인 장치 관리에 문제가 있을 수 있겠습니다.